铝膜针孔是怎么形成的?

huang12949 · 发表于 2007-6-5 19:17:55

如题!请大家帮忙讨论下,铝膜针孔是怎么形成的?

zzzz · 发表于 2007-6-6 08:01:17

污染
成膜工艺
.................................

huang12949 · 发表于 2007-6-6 18:20:51

这样解释好像不是太全面.
污染导致膜附着力,再严重点是太多的麻点.
我说是针孔不是被膜料打陷进去的坑,而是透过反射镜可以看到针孔状透明.
我现在比较少,不是很明显,虽然客户可以接受,但仍然有,所以想大家有个较为全面较为理论的解释.这样才能找到问题根源.
感觉好像是成膜均匀度有关系,和基片架转速有关系,这些做过尝试,都不明显,所以纳闷.

zzzz · 发表于 2007-6-7 10:54:59

那就多镀点AL,把针孔盖住不就得了啊

huang12949 · 发表于 2007-6-7 23:32:47

多镀点铝,似乎是有道理的,但是还是有针孔透明!

huang12949 · 发表于 2007-6-22 18:10:05

找着针孔形成的原因了:
1,我用的是辉光放电,辉光放电有可能将腔体杂质溅到基底表面.
2,基底污染
3,基底本身表面有缺隙.
4,镀膜工艺等.

hithy · 发表于 2007-6-23 21:44:37

楼上说的很对，不过第四点有点笼统，hoho

weizhong · 发表于 2007-6-24 10:46:32

顶顶顶镀两遍就没有针孔了

lbsdb · 发表于 2007-6-24 21:39:59

镀两遍肯定是不行的了
附着力有问题不说，砂眼依然存在。
我认为解决炉体卫生是唯一的方法。
如果是连续设备就会好处理一些了。

dianzikexue · 发表于 2007-7-2 09:10:37

对啊主要是污染问题

tfc · 发表于 2007-7-2 17:47:53

6\9楼说的是一部分道理．这问题是复杂的，与ＡＬ的特性有关，仅仅清洗和调整蒸发参数是不行的．特别是阻蒸，ＥＢＧ就好些．

tian831206 · 发表于 2007-7-7 15:25:32

膜层在成核时条件不好造成的

铝膜针孔是怎么形成的?

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