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如何控制散差和改善光洁度

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发表于 2007-3-6 21:49:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

我们公司现在镀膜过程中有时散差偏大,还有光洁度不太好,主要镀截止和增透,材料SiO2和TiO2。

发表于 2007-3-8 23:41:00 | 显示全部楼层
散差是什么~~~~~~~~~~~光洁度就复杂了 很多原因都能引起~~~~~~~
发表于 2007-3-9 16:10:00 | 显示全部楼层

应该是均匀性差吧

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发表于 2007-3-14 06:14:00 | 显示全部楼层

镀膜过程中有时散差偏大,镀截止和增透,材料SiO2和TiO2

修正板修了几次还是那样 郁闷

发表于 2007-4-26 05:49:00 | 显示全部楼层

做补正板可不是件容易的事,这不光与补正板的形状有关,还与在蒸镀过程中光斑的位置有关系。

发表于 2007-6-13 11:02:30 | 显示全部楼层
我们也准备镀SiO2和TiO2,高反。不知你们的设备情况,问题结决了吗? 用离子源了吗?
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