[下载]用于GaN基LD、LED的衬底（Al2O3，SiC等）激光划片

youfishno

最近研发用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机（波长266，355nm）。

请问业界对使用激光划片机有什么具体要求？心得？

如，激光对掺杂的影响？对器件性能的影响等等？