[原创]片子厚度不同，是否离子源造成的？

lorniale · 发表于 2006-9-14 23:40:00

做单一材料试验，在工件盘不同位置的片子镀出来的厚度不同。从中心片到边缘片，没有递增或递减的关系，而是处于中心片和边缘片之间一个片子的厚度是最薄的。

这个情况是不是因为离子源在不同的位置实际起到的效果不同而造成的呢？

又该如何调整为佳呢？请教高人指点一二！！thanks!

LILISRLHJ · 发表于 2006-9-16 18:41:00

调整MASK就好那!好象只是均匀性的问题吧!

LILISRLHJ · 发表于 2006-9-16 18:43:00

或是你的伞圈有问题,换过一个伞圈试试撒!注意高度和弧度!

zzzz · 发表于 2006-9-18 17:44:00

具体的工艺给说说，不然无从谈起。

lorniale · 发表于 2006-9-18 18:17:00

是平板夹具,不是伞形夹具.

是不是离子源的功效只对某一个半径的圆周是有用的？

hacker · 发表于 2006-9-18 22:38:00

离子源束散角决定其功效范围﹐改变离子源参数和组装方式也可以调整镀膜的均匀性。

zzzz · 发表于 2006-9-19 16:14:00

离子源也有均匀范围啊

而且离子源对膜厚的也有影响

改变工作参数或调节位置或角度可以修正