求助:脱膜问题如何解决!

houjunchang · 发表于 2006-8-8 19:19:00

大家好!

产品DVD RW 高反产品,基板为B270,药材为SIO2和TIO2.镀32层.镀膜后

产品使用膜强胶带测试.有脱膜现象!!!!!!

急求各位高手出谋划策!!!!

jingxiaobao · 发表于 2006-8-8 20:10:00

你可以试一下在装入工件盘之前用化妆粉擦拭一下,有可能是基板没有处理干净.

yari1225 · 发表于 2006-8-8 22:22:00

查一下有没有返油现象，哪怕是一点点都是致命的

YAOCS633 · 发表于 2006-8-10 21:00:00

基板拋光處理

xpizwj · 发表于 2006-8-12 18:46:00

我们以前用同样材料镀52层高反膜的时候也出现过类似问题，这种脱膜一般是由膜层和基板间的应力引起的，当时做了两个试验（1）建议在镀前用离子轰击基材表面（可以起到一定的改善作用），（2）在膜层和基板之间镀一层MgF2以缓解应力(效果很好，能经得起胶带拉力实验和恒温恒湿环测试验)

raofengx · 发表于 2006-8-15 00:10:00

有可能是应力问题，是否是两种药的应力不匹配

xiaohe · 发表于 2006-8-18 21:55:00

查一下高阀里有没有油的痕迹,就可以判断是否是反油造成的.

yuanguoxiang · 发表于 2006-8-29 00:42:00

可能是：

１：真空室返油；２：烘烤温度；３：镀前基片腐蚀严重．

yilian41 · 发表于 2006-8-30 16:32:00

很有可能是油的残留导致~

wazxq · 发表于 2006-8-30 18:16:00

加离子源~~~~~~~~~~~~~

jingxiaobao · 发表于 2006-9-9 07:06:00

你用胶布拉了以后，玻璃表面是否还有膜的颜色存在，若是有的话就要考虑膜层之间的应力问题了，

若是没有的话，建议用液状的化妆粉擦拭过后再清洗，看一下这样的效果又没有变化。当然设备方面的问题也不能忽视，设备有问题即使你的设计怎么的好都不会有很好的结果，设备蒸着时的真空度有没有变化，从氧量的大小，这些都是影响整个过程的因素。

仅代表个人意见

sslina0030 · 发表于 2006-9-22 18:39:00

用离子源就不会了，前提是无返油