求助：膜裂问题如何解决？？？

houjunchang · 发表于 2006-7-30 00:22:00

产品：高反射膜，镀32层！材料是SIO2、TIO2。

不良现象:镀后85度高温会出现膜裂,严重时出现膜浮起现象!

请问哪位高人知道如何对策?

tianxia · 发表于 2006-7-30 19:07:00

什么基底材料？

houjunchang · 发表于 2006-7-30 21:09:00

德国产Ｂ２７０。也有ＢＫ７

raofengx · 发表于 2006-7-31 16:51:00

应力太大，消除或减少应力就行了

zzzz · 发表于 2006-7-31 17:26:00

85就会裂啊

应力问题了

houjunchang · 发表于 2006-7-31 18:30:00

我们分析时也想到了应力问题.但是如何解决应力太大的问题呢?

wottlin100 · 发表于 2006-8-9 03:09:00

可能膜层应力大把膜给拉裂了!

chz321 · 发表于 2006-8-9 05:08:00

基底材料是什么，有用离子源吗，可以降低离子源能量或者降低基片温度，降温时可以降的低点再取基片，

sslina0030 · 发表于 2006-8-10 06:17:00

基底材料是什么，有用离子源吗，这很重要的

xpizwj · 发表于 2006-8-12 19:13:00

用SIO2、TIO2镀高反膜时本来应力就很大，但膜裂不是膜层之间的应力产生的，是膜层和基材间的应力产生的。我们第一次镀这种膜的时候不存在膜裂现象，但是附着力非常差，镀出来的膜用手轻轻一擦就掉了，若是经过环测试验，膜层就会自动脱落打卷。
你可以采用在SIO2、TIO2膜与基材间增镀一层MgF2过渡层的方法来解决应力，效果很好。因为MgF2的材质较软，沉积的膜较疏松，且沉积时和基材的结合性好，所以可以明显地缓解应力。我们当时用这种方法镀出来的膜附着力非常好，MgF2的厚度为1QWOT(100nm左右)，镀出来的膜可以通过胶带拉力测试、盐雾测试和环测。
镀前离子轰击也有一定的效果，但不是太理想。
建议镀前用离子轰击，增镀MgF2过渡层并且让镀完后的镜片在镀膜机内自然冷却后取出。
你可以试试看。
如果可以，请告知结果，祝如运！

lbc1979 · 发表于 2006-8-16 04:07:00

我也不知道呀

GONGYU · 发表于 2006-8-16 23:15:00

你所说的问题除以上高手所说的还有可能是SIO2与TIO2的膜构成比率相差太大，其二，TIO2充氧太少也会出现那种问题。