楼主: lorniale

片子上的点子?

 火... [复制链接]
发表于 2013-4-27 12:33:56 | 显示全部楼层
发表于 2006-3-8 21:15:00 |只看该作者
好像不同的蒸发速率也会导致出现这种状况,我公司有两台设备就出现类似问题,同样的膜料用在不同的设备上,由于两台设备电子蒸发速率不同,导致一台设备镀出来有问题,而一台则没有,当时也很费解,后来换了不同厂家的sio2(运气好)才解决。
自由软件,自由生活
请问用的哪家的SIO2谢谢
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发表于 2013-4-28 11:18:21 | 显示全部楼层
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发表于 2013-7-20 17:04:01 | 显示全部楼层
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发表于 2013-7-20 23:13:53 | 显示全部楼层
楼主说了同一圈的,有的有有的没有。那很明显就是镀膜前发生的问题。
要么是表面没有擦干净,要么就是粗抽的时候灰飞上去的。

麻点有很多原因,
镀膜前的原因:如基板表面没清洗干净,或者镀膜前沾上的灰
镀膜时的原因:比如说材料预熔不好,产生材料的飞溅,
镀膜后的原因:比如说基板表面带静电,破真空时沾上了灰,或者是冷阱回温造成的沾灰
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