关于PECVD镀膜的一个疑惑！！！！

huafei920

在镀膜过程中发现膜的折射率有些偏低，将传送速度增加后，膜的厚度减小，而折射率却增加了。请问，将速度增加，膜厚减小是正常的，但折射率为什么会增加呢？？？？

huweiqian

是卷绕镀膜设备啊？用于做什么产品？还第一次听说．

leidiygs

是不是离子的浓度或是能量发生变化了。一般折射率变化是膜层的结构产生变化了