遇到怪事，请高手破解，在此不盛感激

宇轩 · 发表于 2006-1-6 17:00:00

用霍耳的离子源且离子源位置不是在正中间，镀IR-CUT，用的是大锅盖型夹具，分有四圈，镀出来的产品指标OK，但是发现123圈的片有点
发蒙，但光洁度还好，然而第4圈的片子没有发蒙挺透亮的，却有很多的点子。猜想会不会是离子源轰击不均匀造成的呢？听一个专家说过离子源能量轰击的越多，那么膜层就会越致密，就会是基片更透亮，反之就会有发蒙。但又有听说是离子源轰击的多才会发蒙的，反之就透亮，透亮原因是散射造成的。但散射这慨念不太了解是什么意思。。。。然而到底是怎么回事呢？？？？？？？

zjtzzy · 发表于 2006-1-6 19:15:00

离子源的能量太高

宇轩 · 发表于 2006-1-7 02:23:00

可是霍耳源的能量是很小的啊？阁下的意思是降低能量就行了吗，谢谢你的指点

martin1980 · 发表于 2006-1-7 16:28:00

这个原因可能很多的，不知你加温多少，离子源阳极电流多少？

我做IR-CUT，可以交流，QQ：28398195。

宇轩 · 发表于 2006-1-7 16:49:00

加温是200度，阳极电流7A

compass · 发表于 2006-1-29 20:26:00

铼宝的典型问题离子源

laoxianccc · 发表于 2013-4-27 12:40:16

新手求教 · 发表于 2013-4-28 11:15:21

ouyuu · 发表于 2013-5-6 09:40:53

离子源分布问题

maray · 发表于 2013-6-3 09:48:56

强子 · 发表于 2013-6-3 10:05:02

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ghtzna · 发表于 2013-6-3 14:39:23

有两个问题
1：外圈与中间发蒙是否和离子源有关建议保养离子源及调整工艺参数考虑
2：外圈有点子是否和其他有关，比如夹具的清洁度。

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