[讨论]关于SI3N4的加工

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关于SI3N4的加工

继钢铁、塑料之后，世界上第三种主要材料将是高技术陶瓷，它可突破现有合金及高分子材料的使用极限。在高技术陶瓷中，氮化硅陶瓷是最有发展潜力与应用市场的品种之一。

SI3N4(陶瓷)具有以下几个优点：⑴具有化学成分稳定，耐分解，抗高温氧化等特点。 ⑵具有较高的断裂韧性，较小的热膨胀系数，较高的导热系数。 ⑶硬度高，耐磨性好，抗热、抗冲击性好。 (4)很好的自润滑性。

鉴于以上的特点，对氮化硅的加工就呈现出它特有的加工工艺。上海积羽光学有限公司经过不断的摸索和尝试，终于掌握了对这种材料的冷加工技术。目前，我们可以达到表面40/20的光洁度和1个光圈的面精度（50×50×2的范围）。

其加工要点首先是磨砂环节，由于其硬度高，耐磨性好，用普通的金刚砂基本上是达不到磨削的效果的，我们先用绿砂打磨，然后用W40砂修正面型，然后用W28砂双面磨砂，之后，直接抛光，抛光份使用罗地亚的1650。抛光时间大约1个小时，可以下去尺寸6丝左右，由于W28砂的破坏层较厚，所以抛光时要多下去一些尺寸。

以上，是我们公司近期加工这种材料的时候的一点收获，愿与同行共享，如有更好的加工方式，望各位多加指教！