600mm的zygo干涉仪肯定很贵吧!我干了快10年还没有看到过!
塌边的问题我的经验是:如果你能可以做到pv1/6波长(300×600MM×?)
我的理解(1)环抛的90%面形基本没有问题(2)工件自公转(自转直径670mm)有余量(2.4米的环抛机)
(3)注意4点柏油硬度;工件的自重;环抛内外圈边缘的面形;抛光时间
我的不明白地方:怎样用600mm的zygo干涉仪测量工件的面形
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请问有没有环抛机的资料,处于认识起步阶段,需要设计它的工装,作毕业设计的
有没有哪位前辈帮忙,发个照片或者资料给我,谢谢为盼!
zhuzi2659@163.com
ds1234567: 我不明白您的问题!
我的联系方法 danny_zhang@online.sh.cn
weihua815你好:
请教用zygo测面形时,需要去掉零件边缘的影响,用Mask data屏蔽掉,比如检100平晶有效口径96毫米,在Mask data中选circle 但是如何使直径为96呢? 复选框 x pos: pix
y pos: pix
厂商说像素值,如何变成以毫米为单位,谢谢。
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