镀膜基片变形解决办法

sofilm · 发表于 2005-10-24 02:47:00

本人在多家公司用莱宝机（Leybold APS1104）镀单纤双向或三向滤光片时，0.3mm厚的基片镀完后都会变形，有人说是因为Leybold APS1104的离子源功率太强劲造成。先使用厚玻璃镀完后再磨薄，成本又太高。请问各位在碰到这个问题时是采取什么措施解决的？

snebur · 发表于 2005-10-24 19:58:00

一定要用离子源辅助吗？

不一定光是离子源的事！因为基板太薄，膜层上去后的应力造成的变形是主要原因！

snebur · 发表于 2005-10-24 20:01:00

请改用其他材料可以做到！尝试一下吧！只要您使用离子源就不可避免变形！实在离不开离子源就考虑降低其功率！

ic5 · 发表于 2005-10-24 20:09:00

降低离子源功率可以适当的降低膜层的应力，但功率的降低范围是很小的，必须还要保证膜层的质量。

（最好的方法还是叫客户改技术指标吧，0.3mm太薄了啊，要不就放宽面形的要求------这个是玩笑了）

wazxq · 发表于 2005-10-24 20:45:00

镀那些东西APS源的功率已经很不够用了，可别给人家出坏主意降低离子源功率，呵呵。厚玻璃镀完后再磨薄的方法只会使变形更加严重，楼主在那里高就，降应力那就从应力的来源想想吧

[此贴子已经被作者于2005-10-24 12:53:47编辑过]

yh15430 · 发表于 2005-10-25 18:49:00

wazxyq说的对，应从撤除应力方面着手！

wish · 发表于 2005-10-26 19:11:00

变形程度有多大？几个波长？

你的基片厚度是比较小，但是宽度呢？一般基片宽度（对角线的最大尺度）和厚度要超过1：10。如果基片尺寸不能改变，可以考虑基片背面补偿法，两面镀同样的膜，这样对镀膜机的稳定性要求高，要保证两次面形变化一样大，这样才能补偿回来。

hacker · 发表于 2005-10-27 05:47:00

想上传一篇关于应力的论文﹐但超过限制﹐需要的就留下邮箱吧….. {错误：文件大小超过了限制 500KB![重新上传]}

ic5 · 发表于 2005-10-27 16:27:00

谢谢hacker大哥，我先来学习学习！

ic5@oecr.com

wazxq · 发表于 2005-10-28 06:28:00

用winrar分解成两个就好了

wazxq2002@163.com

flashzhang · 发表于 2005-11-9 19:46:00

如果基片不能改变，只能在膜系设计上动脑筋了

修改膜系！

ruoguo · 发表于 2005-11-10 19:00:00