如何解决铝膜牢固度低

repulsebay1234

普通玻璃镀铝+氧化硅保护膜。玻璃的洁净度应无问题。也有粒子轰击（20分钟），但铝膜牢固度仍很低（整个镜面一擦就掉）。是否应该加温？
非常感谢！
RB

repulsebay1234

另外 真空:3.9e-3pa, 电流：80A

repulsebay1234

另外，镀膜机未配冷井。是否也是膜不牢的原因？

stick

这么高的真空度应该没什么问题，可能是其他的原因。看看是不是返油了。。。。

repulsebay1234

如何判断是不是返油了?

stick

用酒精布擦一下高阀盖板和真空室内壁。。看看布上有没有油。。这是返油比较厉害的时候能看出来的。。。

repulsebay1234

看来无返油。还有其他可能吗？

2614162

镀膜时真空度多少,基片温度呢?可加高基片温度,如有离子源,可用其辅助

repulsebay1234

真空:3.9e-3pa, 电流：80A, 温度：室温， 无粒子源

stick

如果没有返油。。。在这么高的真空度下应该没问题的。。。

电流可以加大一点的。。。到100都是可以的。。。

就像你说的真空很高。。基地清洁很好。。无返油。。

具体什么原因我也分析不出来了。。。

njnikon

我认为真空度还是低了一点,可到2E-3Pa

brucelee80

稍微加点温度，试看看水气过重。遇到过类似情况！！