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资料:晶控片使用技巧

 火... [复制链接]
发表于 2005-8-5 17:06:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
晶控是膜厚控制及成膜速率控制的重要手段。
晶控片是个很灵敏的传感器。因此影响晶控片稳定和寿命的因素比较多。
为此结合国外资料和我的体会做成一份资料,和大家分享。
请大家批评指正。
4WpKLigY.pdf (110.68 KB, 下载次数: 379)

点评

这个很好,我喜欢  发表于 2013-8-2 19:30
这个很好,我喜欢  发表于 2013-8-2 19:30
发表于 2005-8-5 18:22:00 | 显示全部楼层
这是好东东, 谢谢阿李.
请问购买这样的晶控片大约要多少银子?
发表于 2005-8-5 18:35:00 | 显示全部楼层
阿李又有好东西贡献出来啦!
发表于 2005-8-8 00:30:00 | 显示全部楼层
国产晶(6M、金电极)片大概30多
进口的美国的50多
      意大利的40多
以前是这个价格
路过,顶一下
发表于 2005-8-8 19:32:00 | 显示全部楼层
多谢分享!!好东西啊
向阿李同志致敬
发表于 2005-8-8 21:50:00 | 显示全部楼层
阿李总结很有价值。非常感谢!
发表于 2005-10-29 03:32:00 | 显示全部楼层
感谢阿李。真的,很感谢!
发表于 2005-10-29 18:37:00 | 显示全部楼层

阿李最近很少上网吧?

发表于 2005-10-31 20:06:00 | 显示全部楼层
老李在忙着点银子没世间上网咯....
发表于 2005-10-31 21:50:00 | 显示全部楼层
美国INFICON的90圆,国产的50圆一盒
发表于 2005-12-19 19:42:00 | 显示全部楼层
李哥的文章真是太有价值了
发表于 2007-7-2 09:04:26 | 显示全部楼层
多谢 分享  好 资料
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