请教来宝镀膜机

liurongbo

我有几个问题想请教大家：
单位的莱宝镀膜机出现两种故障，我不知道怎么解决，请赐教：
1.镀膜材料在运作过程中塌方（容器内部分空掉）；
2.程序运行到37步时，无法继续进行，这是正好是镀第一层膜。
望大家指导，bonue.liu@hotmail.com

zz

一.料没熔好
二.设置有问题////////////////////////////

flyinlove79111

你说的材料是什么材料啊?一些材料在蒸发功率设置不当的情况下会发生这种事情,你就调整功率吧.要不就是象2楼说的,材料没有预熔好;第一层膜都还没镀就走不下去,应该是设置问题,否则就是电路出问题了.

liurongbo

谢谢！
我们第一层是TiO2。
1.请问我们应该在过程中如何来保证TiO2能够熔好？
2.37步无法继续下去是因为设置的问题，能判断出可能是那些参数吗？
谢谢交流！

flyinlove79111

预熔氧化钛,时,如果坩埚很大,就一点一点加氧化钛,多熔几次,如果一次加的材料太多,有时候就不易熔透,就会出现你说的情况.程序无法继续下去,那电脑有没有什么提示或报警???如果有就好办了.

liurongbo

今天莱宝的技术员来我公司，运行不了是电路除了问题，一直在调试，但是到目前还没有完全搞好。
提到预熔，我们是放进去程序一直跑到底，中途如果塌方就只能停下来。不知道有没有方法直接做预熔，这样节省时间。手动预熔又是怎么操作呢？谢谢。

flyinlove79111

手动预熔，必须在启动自动程序之前，用专门手动程序对材料进行手动预熔。

lzw_happy

我想还是先手动预熔好材料

liurongbo

谢谢大家，设备还是搞好了，当然也少不了手动预熔，真的谢谢大家。
不过，
我们做4层减反膜，可是做出来的结果总是NG，要不就是680nm处高出，要不就是560-570nm左右高出，这个怎么改善呢？

zz

有两个可能:
1.理论折射率不准确
2.TOOLING值不准确

liurongbo

我的莱宝机器又出问题了，
自动预熔TiO2的时候本来应该2分钟左右就进行下一步的，现在程序不切换，一直镀下去了，还不停下来。望指点！！
10楼兄弟说的比较笼统，我发现镀膜的时候，镀每一层时OMS反射率达到一个值则进行下一步，但是每次Crystal检测的厚度都不一样，并且我发现如果厚度控制在一个范围内，其结果就可能是OK的，望详细指点！

zz

不切换不时你设置有问题,就是设备有问题.
哦,那你直接用CRYSTAL监控就是了.