紧急求助：如何清洗超净布的熔融物

mood

各位大佬，我用PECVD时，在300度，不小心用超净布（clean room wiper）擦了一下样品台，谁只布就粘上了，还熔融了一部分。现在不知道用什么清洗啊？
可不可以直接用CF4/O2 清洗啊？
很急啊，请帮帮我吧。