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我公司利方达真空技术深圳公司专业代理美国telemark公司的OM820全光谱光学膜厚控制仪。该光控今年在广东地区就已经上了4套,使用的效果非常不错。
主要特性:
• 200~900nm全光谱分析:对监控基片的透射和反射进行全光谱分析;
• 多膜层终点设定:可设定每一膜层的终点;
• 沉积过程实时分析:当真空室内材料发生变化,其对应的光谱变化可以反映出来;
• 可选的离线测量功能;
• 等离子体诊断。
性能参数:
光谱范围 450~850nm(卤素灯光源),200~900nm(氘灯光源)
灵敏度 2200光量子@600nm
响应 4.5×10-4库仑/焦耳/cm2
暗电流 2微微安
准确度/稳定性 全量程≤0.2%
最短信号获取时间 50毫秒
如需更详细的资料,请联系:0755-26066939,13077864087 简俊勇先生 |