帮忙给点建议，谢谢

sharmoon · 2005-3-15 04:22:00

请问高人：

在波长为190纳米处，入射角为45度，在基片上镀铝能否实现反射率为60％？在铝膜外镀MgF2作为保护膜可以么？

yin99 · 2005-3-15 05:46:00

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snebur · 2005-3-15 08:12:00

铝膜外最好镀Sio2 作为保护膜！MgF2容易潮解。暴露于空气中不稳定。Sio2作为保护膜可能较好！

zz · 2005-3-15 16:04:00

SIO2在190NM处不能用.

风之炫彩 · 2005-3-19 06:35:00

为什么二氧化硅在190nm不能用

flyinlove79111 · 2005-3-19 09:23:00

Sio2可以用啊，我们都做过了，效果不错

wazxq · 2005-3-20 00:00:00

SiO2应该不行吧，没做过，

wazxq · 2005-3-20 00:02:00

紫外光用膜系软件模拟意义不大，6楼做出来后又没有产品的测试数据