石英晶体膜厚仪测量厚度范围是多少?

MorningTech

         厚度大约在 1~10um 量级。
         真空镀膜中使用石英晶体膜厚仪，材料蒸着在晶振片表面。原理上可以测量任意厚度，实际受到的限制主要来自附有蒸着材料的晶振片的振荡幅度一般会随厚度增加而减弱，直至停止振荡。可以用停止振荡前的频率来表达使用的程度，蒸着过程中由晶控仪将频率变化换算成厚度。跟附着材料以及工艺有关，跟晶振片及其电极材料选择有关，也和膜厚仪的测量能力有关。应力大的材料如氧化物要薄一些，而应力小的金属，可振荡的频率范围要大得多。对常规的6MHz晶振片，有使用到5.95MHz就不再使用的，也有到5.80MHz的，更低的也有，各家根据自己工艺来决定。对同样的频率偏移，得到的厚度跟材料的密度有关，以 1.0 g/cm^3为例，在频率偏移值不大时，可按每Hz约0.1nm来估计。
        上海膜林科技有限公司的MXC-3B晶控仪，附带频率厚度计算小工具，主动式测量，延长测频能力。目前数据，单晶振片，氧化ni和氧化gui交替蒸镀，共16um厚度，2017.11.24，上海兆九光电技术有限公司C机(MXC-3K)，见成膜记录照片。有图有真相。


        

update

sgh920

谢楼主分享，学习了。gogo