[求助]关于多晶硅制造工艺的。

oriki

本人正在设计一套关于多晶硅制造的dcs系统，希望各位大虾可以提供一些关于多晶硅制造工艺流程的资料(越详细越好）。外面这些书很少，急死我了。谢谢大家啦！！
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