4英寸菲索干涉仪标准镜头关键技术研究

slyz · 发表于 2017-8-5 16:16:19

本帖最后由 slyz 于 2017-8-5 16:21 编辑

ds1234567 发表于 2017-7-28 20:34
你5楼和19楼都把188.41写成-188.41，我带进软件看到负值是笔误。可是Pv=0.18λ，星点也大于衍射圆，我看不 ...

抱歉，最近出去旅游了，才回来。
我手边没有装ｚｅｍａｘ的电脑
但我猜想，可能是我设计的时候，工作条件设定是２２度恒温。
设计中加入了温度那个选项。
你可以看一下，是不是那项没设置

正负号问题，是因为我的表格不是按ｚｅｍａｘ出的，是按照光学设计正负号规则出的，所以有些半径是反的。

ds1234567 · 发表于 2017-8-9 20:35:51

嘿嘿，是那项设置，立马一致了，谢谢。
多重要的条件，我在国标光学零件面型偏差里没找到，后来查光学元件技术要求与检验国际新标准，查到22度+-2度

slyz · 发表于 2017-10-8 17:07:04

目前的波前；由于间隔未能控制好，正好落在公差边上了，刚刚满足一个波长

slyz · 发表于 2017-10-8 17:08:04

正常的波前

update · 发表于 2017-10-25 10:15:11

update · 发表于 2017-10-27 09:45:00

ds1234567 · 发表于 2017-12-1 22:58:20

调不好就修修。有一次外协产品要求1/20怎么做也不好，微晶的，厂家很着急。我测量时用蜡笔画上高的部位，他拿来抛光毛毡蘸红粉轻擦几十下，把高点修平了。

slyz · 发表于 2018-4-15 20:29:05

国内目前能做到1/20的厂家不多啊。要能测到这个精度，需要购买1/40的标准镜头

slyz · 发表于 2018-7-13 20:46:40

现在比较困惑的是，如何评价镜头设计是否合理；它的系统误差如何评价

slyz · 发表于 2018-7-13 20:48:39

虽然说，镜头的波前指标没有明确的说法，但市面上的产品，半个波长的也有，几个波长的也有，似乎都不影响大家使用

slyz · 发表于 2018-10-24 20:56:48

slyz 发表于 2018-7-13 20:46
现在比较困惑的是，如何评价镜头设计是否合理；它的系统误差如何评价

最近分析了，标准镜头产生的系统误差。
通常，若标准镜头其透射波前为一个波长左右，其产生系统误差大概 rms0.4nm左右。 zygo的4-6英寸镜头波前通常都在这个水平，但其小F数镜头，波前会差一些。
若其透射波前为16个波长，其产生系统误差约 rms 4nm。（我们做了一个特殊的镜头

）
这样就可以根据用户的需求，设计干涉仪与标准镜头了。
其实，对于普通的光学加工，这种精度也基本够用了。

ds1234567 · 发表于 2018-11-20 08:07:04

研究终于出了成果，透射波前为16个波长，对系统产生均方根误差为4nm。祝贺你。
你能展开论证一下么？热烈的等待着。

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