APC reset 异常是什么原因(紧急求救!请各位大哥赐教)

meself

今天在准备镀膜的时候,在镀Tio2时,APC不能控制氧气导入,进行压力控制,机器自我诊断结果是:

APC RESET.昨天晚上一切还好好的,APC的设定值也没有改动过,氧气罐压力显示也是正常的..

如果在一般排气状态,按下APC的电源按钮,机器会报警.

我用的是SHINCRON-850D镀膜机,

请大哥们抽出点时间给小弟解答.

小弟在这里谢谢了!