请问IC5设备的膜厚问题 

2004-12-30 21:44:00 | 显示全部楼层 | 阅读模式
IC5里面的膜厚如何输入？还有在PROCESS下输入的数据和膜厚有什么关系？？我现在知道输入的一组参数类似与膜厚但不是，一个5层的，2548 ，310，112，800，800，如何转换成膜系结构
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2005-1-5 18:17:00
没有人愿意帮助我吗？？斑竹求救呀
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