镀BBO时出现整面的很细的亮路

chz321

最近镀BBO晶体，只镀一层HFO2（400埃），后拿出来发现整面都有很细的亮路，

大家一起讨论一下可能引起的原因，

coatingzhang

如果没有说错电话应该是应力引起的膜裂

zz

不匹配

hgw2001

擦试的问题

wottlin100

切割角度为多少? 镀膜时温度多少?  我想擦的时候不至于看不见吧?     

chz321

镀前擦拭时是看不见的，镀完后也看不见，可是镀完擦拭就出现细亮路了，

起初也是怀疑是擦拭，可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗，膜的牢固也很好，

真是头痛，大家帮忙想想办法吧，

zz

有亮路还说牢固度好，用橡皮头擦擦，还行吗？

chz321

用强力白胶带粘过，膜的牢固却实很好，

奇怪的是，镀厚后细亮路就没了，

xcy1075

有没有用离子原啊

wottlin100

排除了擦拭的原因了吗?

不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?

wottlin100

顶！

zz

啥？镀厚亮路就消失了？现象重复吗？