请教镀膜SiO2

renajin

请教各位专家,我公司镀膜SiO2时, 镀膜完毕,擦拭时,镀膜脱落.(牢固度不够)

请问是什么原因啊

xcy1075

温度多少

zz

和基体特性不匹配；镀前表面污染，其他

cjyzq

工艺问题 提高SiO2的蒸发速率。

Leesnow

还有真空度，有没有离子源啊！

renajin

哦

martin1980

你们只镀SIO2么？还有没有镀其他的膜层？

sauke

可能与基底温度及洁净度有关。

matta

温度是主要关系，基底的温度在250时表面活性最大，膜与基底结合越牢固。

蒸发速率在18A/S最合适，真空要在2.5E-5Torr以下。

renajin

谢谢了

zjtzzw

先测一下温度达到250度以上和跟真空度2.5*10－5torr 以下

4366544

你的ＳＩＯ２的蒸发时的放气量是不是已经使真空度变的好低?？