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材料的放气对膜面质量肯定有很大的影响,这也是镀膜工艺的一个大忌.但您所说的颜色不均匀是否是因为放气所引起的,我没有这方面的经验,不好说,也请众高手多多讨论!
首先我不懂你的材料是指基片呢还是指膜料。如果是膜料放气的话那么它会使真空度下降、膜料的折射率下降。使成膜质量下降。当然还会影响指标、牢固度等等。如果是基片放气那就更麻烦了。它会很大的改变你的指标使透反曲线和你设计的有很大的差别。当然还会影响牢固度等。就像镀光纤一样就会出现这样的事。
以下是引用hgw2001在2004-12-6 8:39:02的发言: 首先我不懂你的材料是指基片呢还是指膜料。如果是膜料放气的话那么它会使真空度下降、膜料的折射率下降。使成膜质量下降。当然还会影响指标、牢固度等等。如果是基片放气那就更麻烦了。它会很大的改变你的指标使透反曲线和你设计的有很大的差别。当然还会影响牢固度等。就像镀光纤一样就会出现这样的事。
对,是基片材料放气产生。
看来这位朋友也做过TBF900 Fiber,该问题我们现在已经解决。您解决否?
没接触过,不过基板放气,应该在尽量高真空下放置一段时间然后再镀膜吧
或者高真空-通大气-高真空反复几次
如果只是膜色不均匀(没有镀膜点等),因该与膜料的放气关系不大.
你的镀膜夹具材料是铜/铝.
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