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对于LBO之类晶体出现的诸如点子等问题其实很好解决. 首先要擦干净,LBO 等晶体的要求远比玻璃要求高,即使镀的都是激光膜,.擦的时候没有看出来的点子或脏东西,镀完之后非常明显,这点各位同行应该清楚; 其次周围环境要搞的非常干净,如果镀膜间不是超净间就更应该注意,特别是真空室里边更要一尘不染.
象有些同仁提出的静电问题我认为不然.首先确实有极性晶体(压电或铁电)表面会产生电荷,对于某些晶体而言,电荷的正负是有方向性的,比如在某个方向的电荷为正,那么在它的负方向相应的便产生负电荷,如果要用离子风,也要先搞清楚正负,这要求各位对晶体有非常深的了解;
用离子源清洗也不是万能的.,对于一些化学类的物质效果明显,如空气膜,油污等,因为这些物质可在离子轰击下分解.离子束轰击对于大颗粒灰尘效果不好,如果轰击不当,反而会污染表面,我们就有过类似情况.
以上都是我在工作中的实际经验,希望能与大家共同促进中国镀膜水平.
对于lbo来讲,主要问题是激光损伤阈值和寿命问题,欢迎大家继续讨论. |