[求助]关于多层膜的镀制

vietti

用Al2O3和TiO2做LH材料

在衬底上分别镀单层膜，从反射谱看峰值波长为所需波长，表明厚度控制合适。

然后镀（LH）4后，却发现峰值波长偏了很多。

是因为一个坩锅里材料镀几次，导致后几层的实际厚度发生变化？还是其他什么问题？

另：镀完一层换材料镀下一层时，间隔时间长短有多大影响？多长合适呢？

vietti

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