2004-11-4 21:47:00 | 显示全部楼层 | 阅读模式
在镀TiO2时,电子枪的高压示数一跳一跳的(突降一下),这是为什么啊,有什么解决的办法?
主题回复
倒序浏览

7260查看22回复

2004-11-4 23:50:00
打开电子枪灯丝看一下是否是灯丝上有异物,或电子枪电流过大
举报 回复
2004-11-10 21:47:00
灯丝脏了或老化了,建议更换
举报 回复
2004-11-14 04:10:00

可是在镀sio2时,好像没有这种的情况的!过会儿我也把电子枪打开看看

举报 回复
2004-12-7 23:15:00
我也遇到这种情况的,好象和离子源的使用有关系,有时候镀的过程中就自动停止了
举报 回复
2004-12-7 23:55:00
调整一下充氧管的位置!
举报 回复
2004-12-14 21:00:00

5楼的是串压了!把电子枪的高压接线部分和离子原的接线部分实行屏蔽!要不然的话就是减少充气流量和提高本底真空!楼主有没有用离子原?

举报 回复
2004-12-15 21:53:00

电子枪打火啊,在Predeposit的时候有材料飞溅到枪头上了,不想放气的话试试加束流能不能将材料熔化。

举报 回复
2004-12-19 05:55:00
充气高了
举报 回复
2004-12-29 02:45:00
可能是有异物掉到材料上了,可以灯丝预热5分钟
举报 回复
2004-12-29 03:59:00
呵呵,才料少了也会
举报 回复
2005-2-16 16:03:00
filament老化,换个新的
举报 回复
12下一页
发新帖
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则