抛光石英玻璃亚表面波纹研究

风轻扬

抛光石英玻璃亚表面波纹研究
Study of Subsurface Waves on Polished Silica Glass
下载全文
抛光石英玻璃亚表面波纹研究.pdf (821.91 KB, 下载次数: 1)

2015-7-12 19:12 上传

点击文件名下载附件

作　　者：杜秀蓉 宋学富 孙元成 张晓强
DU Xiurong, SONG Xuefu, SUN Yuancheng, ZHANG Xiaoqiang  （China Building Materials Academy, Beijing 100024）
机构地区：中国建筑材料科学研究总院,北京100024
出　　处：《材料导报：纳米与新材料专辑》 2014年第28卷第1期 240-242页,249页,共4页
基　　金：深紫外光学石英玻璃材料的研制项目（2012DFAS1310）;国家科技支撑计划（2013BAE03B01）
摘　　要：抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后，表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径，对比切、研、抛加工工艺和表面形貌，确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段，并且波纹随后续加工趋于平缓，最终掩盖在抛光层之下。
Cycle distributional waves appeared after polished silica glass etched in hydrofluoric acid solution.The curvature radius（R） of waves was calculated, then the different process parameter and respective surface state arestudied. It is ensured that waves brought by cutting process, and become smoother in later grinding and polishing. Finally it was covered with polishing layer.
关键词：石英玻璃 亚表面波纹 切割 研磨 抛光
silica glass, subsurface waves, cutting, grinding, polishing ;