[求助]用VEECO机镀Nd:YVO4时，如果经检测发现有脱膜现象的解决方法是什么？

yauchiyuen

各位大侠、镀膜高手：

用VEECO机镀Nd:YVO4晶体或其他的晶体时，如果经检测（用高粘度的胶纸多次粘膜面）发现有脱膜现象的解决方法是什么？12CM RF离子源参数应怎么设置？