請教高反射鏡做法?(急~請幫忙T_T)

zmiin

請教各位前輩~

我要製作一個從使用45~70degree Rave98% Rabs96%的高反射鏡,不管怎麼鍍,結果500nm與600nm左右的波段都會有很深的deep,大約會下降至95%以下,不曉得是設計上的問題還是鍍麼藥材的問題?

ps)1.12(HL)^10H L .93(HL)^10H L .74(HL)^10H設計,H=Ti3O5 L=SiO2,請問做法正確嗎,還是必須使用第三種藥材呢?總覺得3個stack連接之間沒辦法做的很平

謝謝~

cjjiang

那在对截止带进行优化呀

膜系设计软件就是用来干这个的嘛

不过不知道优化以后你在你机子上能否做得出来

毕竟设计和工艺还是有很大差别的

zmiin

我是用TFCalc軟件優化,就以設計而言是沒問題的~

但製作中就與設計差很多,還是要使用離子束輔鍍會比較好做呢?

在沒有離子槍的情況下可以實現嗎?基材實溫370度,Ti3O5 nd大約2.38(0.5um),大約65層的設計...

zz

设计或工艺问题吧

eagle1

检查测量，如果测量没有问题，那只可能是工艺问题，应该来说设计是不会有问题的。

建议重新测测材料的折射率和吸收系数，把Tooling调好

wottlin100

查查您的记录？监控精度不够？材料失氧严重？设计优化问题？机器达不到要求（比如国厂机）？从各方面找原因吧？问题多了去了！！！！！

Leesnow

说的好，问题太多了，那里都有可能是原因！苦啊！

fuyong

折射率不对，厚度不匹配