奇怪现象

wdydede · 发表于 2014-7-8 16:49:11

各位大侠:近来国产膜厚仪发生奇怪问题，正常情况下，镀MgF2，下反监控，光量值从90应走到25左右，可前一段修了设备后，光量值就不稳定了，从90只走到45左右就到PeaK点！？望各位不吝赐教

魅力薄膜 · 发表于 2014-7-9 12:13:00

角度偏了吧

MorningTech · 发表于 2014-7-10 07:54:41

检查光路

ysc730603 · 发表于 2014-7-10 08:56:12

光控极值法不要太在意光量走值，只要做出来的东西一致就不用管它走到25还是45

MorningTech · 发表于 2014-7-10 09:37:57

如果监控片上光斑偏了，
1. 光量变低，稳定性会变差。
2. 光斑都有一定大小，偏离了正常区域，膜层厚度不一致加大，平均效果使得高低分辨变差，极值变得更平坦，增加判断难度。
单层极值问题还不大，多层的话，极值厚度位置也会偏离些吧。

yuliang518 · 发表于 2014-7-11 06:11:30

wjwvsly · 发表于 2014-7-18 12:30:21

大侠，是不是设备光源灯出问题了，或者是光控系统的问题

苏州膜头 · 发表于 2014-8-8 20:13:11

哈哈，应该是光能量不足了，清洗通光窗口，检查电源恒流，灯的接触电阻。

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