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[讨论] 圆黑点的什么?

 火... [复制链接]
发表于 2014-3-27 13:47:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
镀膜机内抽真空后加热160度后,开腔取出在显微镜下检验有圆黑点。(不开离子源,不开电子枪)
22.JPG
发表于 2014-3-27 14:37:47 | 显示全部楼层
移动显微镜平台,不动的话就是显微镜里面脏了
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 楼主| 发表于 2014-3-27 14:54:57 | 显示全部楼层
应该不是,更换过几台显微镜,不同区域的地方也有类似的黑点。黑点有的多有的少。
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 楼主| 发表于 2014-3-27 14:55:57 | 显示全部楼层
不知道有没有可能是哪种液体加热后产生反应造成的?

点评

擦得掉吗?  发表于 2014-3-27 15:08
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 楼主| 发表于 2014-3-27 15:09:57 | 显示全部楼层
擦不掉,吹不掉。
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 楼主| 发表于 2014-3-27 15:14:36 | 显示全部楼层
这形状条形加热前只接触过高纯氮气设备,氮气只是转换真空后起吸的作用。并没有往外吹气。
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 楼主| 发表于 2014-3-27 15:16:02 | 显示全部楼层
哪位高手能解释下原因。
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发表于 2014-3-27 16:02:34 | 显示全部楼层
脏东西经过高温烧焦,类似损伤的一种?
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 楼主| 发表于 2014-3-27 16:19:56 | 显示全部楼层
wangliia 发表于 2014-3-27 16:02
脏东西经过高温烧焦,类似损伤的一种?

表面是InGaAlP半导体材料,在400度温度下不会有变化。
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 楼主| 发表于 2014-3-27 16:25:08 | 显示全部楼层
HGcoating 发表于 2014-3-27 14:55
不知道有没有可能是哪种液体加热后产生反应造成的?

擦不掉,吹不掉。
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发表于 2014-3-27 22:00:16 | 显示全部楼层
本帖最后由 MorningTech 于 2014-3-27 22:04 编辑

多为圆点, 似应为液体表面张力所致收缩成圆形。
或是过程中变成液态,或本来就是液态,或是液体中杂质留下的圆斑,加温后变性了。
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发表于 2014-3-28 07:47:05 | 显示全部楼层
是在镀腔面吗?
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