南光机真空问题

苏州膜头

wdydede 发表于 2014-2-25 22:02
我个人的判断不应是真空室漏，因为能抽到高真空，机械泵的放气阀，电磁阀等均检查维修了，也不见好转，

兄弟啊能抽到高真空不代表不漏气。
判断应该有指标，比如泵口多少真空度，管道又是多少真空度，扩散泵腔体，扩散泵泵口又是多少真空度？
如果一直是10帕到20帕那漏气比较大，可以用笨办法排除法（公转拆了用堵头堵上，不行再把坩埚拆了用堵头堵上，再不行把电子枪拆了用堵头堵上），应该很快能找到。
如果不是，就等出故障时，仔细测量，确定故障大概位置，再仔细排除。
祝你早日搞定，同情中。。。。