AR膜第2面出现圆弧状白雾带

胖哥/mg · 发表于 2013-11-1 14:57:23

霹靂貓发表于 2013-11-1 14:49
白斑壓克:一般是放置時間太長氧化或洗劑殘留所致!!
你鍍第二面時机会较大.因是番面第二面洗淨制程的問題!! ...

也有两面比较平的镜片也出现这个情况。。而且同批次的零件镀几罩。可能某一罩会出现。而且是部分出现。而且圆弧形状也基本相近。

lkai1014 · 发表于 2013-11-1 16:37:38

胖哥/mg 发表于 2013-11-1 14:51
/AL2O3,H4,MGF2/ /AL2O3,H4,AL2O3,H4,SIO2/ /AL2O3,TIO2,AL2O3,TIO2,MGF2/ 这3种都出现过。

用TI3O5 SIO2试下

霹靂貓 · 发表于 2013-11-1 17:11:50

胖哥/mg 发表于 2013-11-1 14:57
也有两面比较平的镜片也出现这个情况。。而且同批次的零件镀几罩。可能某一罩会出现。而且是部分出现。而 ...

偶遇过...类似狀況...
但是~不一樣??
是暗斑壓克.時有時无滴....
后來DP油降低或腔溫提升...減少返油...改善了!!

胖哥/mg · 发表于 2013-11-2 08:15:22

霹靂貓发表于 2013-11-1 17:11
偶遇过...类似狀況...
但是~不一樣??
是暗斑壓克.時有時无滴....

你说的这个是返油了。。这个一般能够判断出来。

胖哥/mg · 发表于 2013-11-2 08:16:45

lkai1014 发表于 2013-11-1 16:37
用TI3O5 SIO2试下

我只有TA2O5，但是没有离子源辅助。这个能行吗？

ghtzna · 发表于 2013-11-2 13:12:09

这种状况我也遇到过，基本上跟材质关系比较大高温烘烤后部分化学物质析出和洗净反应，但是你的只有规律的一圈我觉得不是这种原因你可以尝试换个机台试试或者使用离子源

ghtzna · 发表于 2013-11-2 13:13:30

胖哥/mg 发表于 2013-11-2 08:16
我只有TA2O5，但是没有离子源辅助。这个能行吗？

Ta2O5可以尝试建议第二面温度可以稍微调低一点在280附近就没问题

胖哥/mg · 发表于 2013-11-2 13:43:25

ghtzna 发表于 2013-11-2 13:13
Ta2O5可以尝试建议第二面温度可以稍微调低一点在280附近就没问题

谢谢。。。这个办法。我试试

zouyou828459 · 发表于 2013-11-3 19:13:38

本帖最后由 zouyou828459 于 2014-4-11 22:01 编辑

顶

lkai1014 · 发表于 2013-11-4 09:14:46

胖哥/mg 发表于 2013-11-2 08:16
我只有TA2O5，但是没有离子源辅助。这个能行吗？

可以不过Ta2O5成本比较高呵呵

诸葛流星 · 发表于 2013-11-4 11:25:10

胖哥/mg 发表于 2013-11-1 14:51
/AL2O3,H4,MGF2/ /AL2O3,H4,AL2O3,H4,SIO2/ /AL2O3,TIO2,AL2O3,TIO2,MGF2/ 这3种都出现过。

减反膜要求高吗？
你可以用Ti3O5he SiO2做
不建议用MgF2
在排除镀膜导致后再去看看是不是清洗出了问题。

royyang · 发表于 2013-11-4 16:43:37

我们不常做凸镜，我们一般平板的PC等，一般出现这个就是保护膜的问题，可能和你的不一样。

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