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[讨论] 关于SiO2

 火... [复制链接]
发表于 2013-8-26 09:29:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位大侠:我在镀完后开真空室门时 发现在SiO2(蒸镀速率8)坩埚附近的防污板上SiO2掉膜(以蔓延扩散的形式掉落呈细小粉末状),遇到这种情况该如何解决,谢谢!
 楼主| 发表于 2013-8-26 09:30:03 | 显示全部楼层
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发表于 2013-9-1 19:34:29 | 显示全部楼层
就这样嘛,没关系的。
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 楼主| 发表于 2013-9-3 14:43:17 | 显示全部楼层
fql3310 发表于 2013-9-1 19:34
就这样嘛,没关系的。

但是掉下来的粉末会落到坩埚上啊,外观不达标
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发表于 2013-9-5 09:34:35 | 显示全部楼层
二氧化硅镀多了就是这样的啦,没问题的
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发表于 2013-9-14 11:47:14 | 显示全部楼层
吸尘器吸
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 楼主| 发表于 2013-9-14 12:32:14 | 显示全部楼层
大大鸟鸟 发表于 2013-9-14 11:47
吸尘器吸

呵呵,这样对已镀的产品没有任何改变啊
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发表于 2013-9-14 12:54:54 | 显示全部楼层
诸葛流星 发表于 2013-9-14 12:32
呵呵,这样对已镀的产品没有任何改变啊

木有
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 楼主| 发表于 2013-9-16 13:52:03 | 显示全部楼层
就是这样做出来的外观有点不理想啊
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发表于 2013-9-17 17:12:20 | 显示全部楼层
有两个办法,一是勤换衬板。二是在易掉渣的地方贴块锡箔纸,锡箔纸弄皱些,更耐用。
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 楼主| 发表于 2013-9-22 08:05:17 | 显示全部楼层
这些都试过,一样
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发表于 2013-9-28 19:54:35 | 显示全部楼层
学习了
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