关于SiO2

诸葛流星 · 发表于 2013-8-26 09:29:38

请教各位大侠：我在镀完后开真空室门时发现在SiO2(蒸镀速率8)坩埚附近的防污板上SiO2掉膜(以蔓延扩散的形式掉落呈细小粉末状)，遇到这种情况该如何解决，谢谢！

诸葛流星 · 发表于 2013-8-26 09:30:03

fql3310 · 发表于 2013-9-1 19:34:29

就这样嘛，没关系的。

诸葛流星 · 发表于 2013-9-3 14:43:17

fql3310 发表于 2013-9-1 19:34
就这样嘛，没关系的。

但是掉下来的粉末会落到坩埚上啊，外观不达标

gxfdllg · 发表于 2013-9-5 09:34:35

二氧化硅镀多了就是这样的啦，没问题的

大大鸟鸟 · 发表于 2013-9-14 11:47:14

吸尘器吸

诸葛流星 · 发表于 2013-9-14 12:32:14

大大鸟鸟发表于 2013-9-14 11:47
吸尘器吸

呵呵，这样对已镀的产品没有任何改变啊

大大鸟鸟 · 发表于 2013-9-14 12:54:54

诸葛流星发表于 2013-9-14 12:32
呵呵，这样对已镀的产品没有任何改变啊

木有

诸葛流星 · 发表于 2013-9-16 13:52:03

就是这样做出来的外观有点不理想啊

wugaoling688 · 发表于 2013-9-17 17:12:20

有两个办法，一是勤换衬板。二是在易掉渣的地方贴块锡箔纸，锡箔纸弄皱些，更耐用。

诸葛流星 · 发表于 2013-9-22 08:05:17

这些都试过，一样

339549428 · 发表于 2013-9-28 19:54:35

学习了

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