各位大侠，有谁知道镀膜材料A99的主要成份是什么吗？

zouyou828459 · 发表于 2013-7-18 11:02:41

各位亲们，我用A99和SIO2镀45度高反470要R大于99。5%，镀了后测分光发现470至400那里有吸收啊，我用的工艺是烘烤加热到300度，开始镀膜真空是4。0E负三帕，镀A99的充氧控制在1。0E负二帕，SIO2不充氧，晶控速率是A99为0.4NM/S,SIO2为0.7NM/S.请问我这种工艺镀出来为什么有吸收呢,A99到底要充氧还是不要充氧呢?

新手求教 · 发表于 2013-7-20 22:19:37

A99我也在用，具体成分不知道，好像是H4的替代品，成膜真空可以再低点，镀膜时保持在5.0-3PA，A99一定要充氧的

xiao2011 · 发表于 2013-7-21 23:16:44

不要充氧吸收不是更大？

yin000 · 发表于 2014-6-15 13:17:26

A99充氧应控制8.0-3PA就好了！

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