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看看你的TOOLING FACTOR 是不是跑掉了?
会不会忽略了一个最简单的问题:设计是带有角度的,而测量是以0度测量的?
那么把这些误差考虑进去,应该也可以设计出想要的效果吧?是不是得需要不断的试探才行?
怎样使镀膜曲线与设计曲线一致
就目前的镀膜监控系统而言,有光控和晶控两种方式,对与光控,若要使镀膜曲线与设计曲线一致,最好的方法便是抓准膜材的折射率,而对与晶控。最好的方法便是抓准膜材的FACTOR值。当然在调试膜系的过程中,改变膜系某层的厚度而使镀膜曲线与设计曲线一致也是一种快捷而简便的方法。
控制片上的光学厚度 / 基片上的光学厚度=光控TOOLING
晶振上显示的厚度 / 基片上的厚度=净控TOOLING
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