请教，薄膜湿热试验为什么会膜裂？

geyingji · 发表于 2012-10-23 13:38:36

如题，基底是有色玻璃，镀mgf2，sio2单层膜，做湿热试验，标准上写在40度90%湿度24小时不脱膜，然后我在这环境下放了几天，膜裂挺严重的，有的是密密麻麻的小细裂纹，有的是大裂纹，但是为啥会裂呢，是膜层太松散吸水后裂开了还是有应力啥的，求解，下图是10倍放大镜下的照片

xiaohuilee · 发表于 2012-10-23 13:46:09

氟化物属于软膜吸潮容易出现问题

geyingji · 发表于 2012-10-23 14:43:45

xiaohuilee 发表于 2012-10-23 13:46
氟化物属于软膜吸潮容易出现问题

哦，可是sio2单层膜的也都裂了

HGcoating · 发表于 2012-10-23 14:53:37

单层SIO2膜裂说明工艺有问题了

ouyuu · 发表于 2012-10-23 23:03:50

玻璃是加热到多少度镀的？有无使用离子源？SIO2的镀膜速率是多少？

xiaohuilee · 发表于 2012-10-24 08:14:47

geyingji 发表于 2012-10-23 14:43
哦，可是sio2单层膜的也都裂了

MGF2 基地温度要大于150 才能镀出来坚硬的膜 SIO2 是否冲O2了速率怎样

xiaohuilee · 发表于 2012-10-24 08:15:38

如果使用了离子源就增加离子源的能量增加充气量

wazxq · 发表于 2012-10-24 09:19:48

40度90%湿度不是高的要求，工艺有问题，调整蒸发速率看看

geyingji · 发表于 2012-10-24 09:33:11

ouyuu 发表于 2012-10-23 23:03
玻璃是加热到多少度镀的？有无使用离子源？SIO2的镀膜速率是多少？

这个我不太清除啊，是外面镀的，我们拿回来测，只知道他没有离子源，就是电子枪蒸的，速度啥的都不知道

geyingji · 发表于 2012-10-24 09:45:58

xiaohuilee 发表于 2012-10-24 08:14
MGF2 基地温度要大于150 才能镀出来坚硬的膜 SIO2 是否冲O2了速率怎样

这些我都不知道啊，别人镀的，让我分析原因，sio2肯定没有充氧，如果要求抗潮能力强的话是不是要膜越致密越好

zhenxing · 发表于 2012-10-24 11:36:19

這個問題的重點是因為基板是有色玻璃。換普通玻璃用同樣的鍍膜制程就沒問題了！

xiaohuilee · 发表于 2012-10-24 11:40:00

geyingji 发表于 2012-10-24 09:45
这些我都不知道啊，别人镀的，让我分析原因，sio2肯定没有充氧，如果要求抗潮能力强的话是不是要膜越致密 ...

那就简单了退货就好了不是你们自己做的你怎么分析

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