修正板的问题

huyuzhe · 发表于 2012-7-16 17:36:01

公司刚买了一台成都的800箱式镀膜机，一个电子枪和2个阻舟。但是没人会做修正板。。。请问大虾们。有没有什么简单的方法？那篇《修正挡板设计》真心看不懂啊。

ouyuu · 发表于 2012-10-27 21:07:32

tfc 发表于 2012-10-27 11:28
如果专门去研究修正板的公式，也不是不可能出公式的，但这时膜料及其蒸发速率要选择好，修正板离坩埚一定距 ...

是的，实际上是有公式，但复杂的很。
分布符合流体力学，但离子不同，分子量和电荷，初速度均不同，
需要每种离子都进行一种建模。
另外影响的因素有，腔体的形状，抽气口形状，抽气能力，
料板（也有称伞架的）高度，形状，修正板高度，角度等等。

仅仅把这些都测量一遍的时间，我十套修正板都做好了。

真正有水平的人，不会靠贬损别人来提高自己。

诸葛流星 · 发表于 2012-7-18 10:23:40

简单的说离蒸发源远的地方修正版窄，近的地方修正版宽。

苏州膜头 · 发表于 2012-7-16 21:02:26

哈哈，一个电子枪不够用啊，夹具好的话修正板就不一定要用的。
你哪里的要不我来看看？？

wazxq · 发表于 2012-7-18 04:53:24

要求均匀性多高，新机厂家没给你做好吗

lkai1014 · 发表于 2012-7-19 08:10:48

根据测试分光一点一点的增或减修正板的幅度,直到你们所需要的差就可以了

especialoptic · 发表于 2012-7-19 14:12:31

同意5楼的说法，多试膜几次，调整修正板尺寸，慢慢调整到各层最均匀的效果。

qjy · 发表于 2012-7-19 16:30:13

especialoptic 发表于 2012-7-19 14:12
同意5楼的说法，多试膜几次，调整修正板尺寸，慢慢调整到各层最均匀的效果。

大地呀！苍天呀！原来咱们的高手们都是这么干的呀！我想把原始人请来，他们也会这么干的！我真的无语了，难道这就是我们的高手拿手绝技吗？太不可思议了

Jerry120688 · 发表于 2012-7-23 18:25:55

做几个单腔~tooling差不多就行了

huyuzhe · 发表于 2012-7-25 06:44:10

qjy 发表于 2012-7-19 16:30
大地呀！苍天呀！原来咱们的高手们都是这么干的呀！我想把原始人请来，他们也会这么干的！我真的无语了， ...

那么你是怎么做的呢？

huyuzhe · 发表于 2012-7-25 06:45:06

苏州膜头发表于 2012-7-16 21:02
哈哈，一个电子枪不够用啊，夹具好的话修正板就不一定要用的。
你哪里的要不我来看看？？

我上海的。修正板已经整的差不多了。谢谢

huyuzhe · 发表于 2012-7-25 06:45:57

wazxq 发表于 2012-7-18 04:53
要求均匀性多高，新机厂家没给你做好吗

我只是一个公转盘，所以需要修正板的。而且镀膜机厂家说他们不管修正板

huyuzhe · 发表于 2012-7-25 06:46:20

诸葛流星发表于 2012-7-18 10:23
简单的说离蒸发源远的地方修正版窄，近的地方修正版宽。

嗯，这样是最方便的。谢谢

[技术] 修正板的问题

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