关于MgF2增透膜偏移的问题。

良哥 · 发表于 2012-7-12 19:31:10

各位大神：
前两天在新国产机器上镀了几片AR膜（MgF2），然后去做高温高湿试验，结果都往长波偏了，咨询我师傅，他说MgF2是软膜，吸水往长波偏很正常，但是我感觉偏了17-18nm就有点多了吧。然后他又让我加大离子源充气做，现在还没有出来结果呢。有经验的大师可以指导指导小弟&……
先谢过了……

fql3310 · 发表于 2012-7-12 22:16:27

基片温度２５０－３００度，离子源用氩气当工作气体。离子源可以把能量提高点。

lkai1014 · 发表于 2012-7-13 08:05:24

fcyfjh · 发表于 2012-7-13 08:15:00

xiazg · 发表于 2012-7-13 08:59:08

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nkclone · 发表于 2012-7-13 09:10:13

xiaohuilee · 发表于 2012-7-13 17:06:19

你师傅不是已经把问题产生的原因和如何解决问题的方法交给你了吗还让别人怎么说

良哥 · 发表于 2012-7-14 11:47:16

xiaohuilee 发表于 2012-7-13 17:06
你师傅不是已经把问题产生的原因和如何解决问题的方法交给你了吗还让别人怎么说

大家多讨论讨论，问题考虑的更全面，哈哈。

wangliia · 发表于 2012-8-6 12:49:36

我想知道LBO 镀单层MgF2增透是什么情况？容易出丝？怎么控制？

良哥 · 发表于 2012-8-6 15:56:24

wangliia 发表于 2012-8-6 12:49
我想知道LBO 镀单层MgF2增透是什么情况？容易出丝？怎么控制？

小生刚毕业一年，还没有镀过晶体膜，不知您说的出丝是否是膜裂？见笑了。

wangliia · 发表于 2012-8-7 07:39:40

良哥发表于 2012-8-6 15:56
小生刚毕业一年，还没有镀过晶体膜，不知您说的出丝是否是膜裂？见笑了。

不是膜裂。我感觉是晶体表面潮了而导致，就是镀之前都观察不到或者说没有，但是镀完MgF2之后有出现了。。

良哥 · 发表于 2012-8-9 20:12:44

wangliia 发表于 2012-8-7 07:39
不是膜裂。我感觉是晶体表面潮了而导致，就是镀之前都观察不到或者说没有，但是镀完MgF2之后有出现了。。

能擦掉吗？基片得好好保存啊

[讨论] 关于MgF2增透膜偏移的问题。