镀膜是有功率没有速率，为何？

E501559 · 发表于 2012-7-12 08:17:18

昨天，在正常的镀膜过程中，发现有功率没有速率，功率升的很高的时候，还是没有速率，后来我们检查了晶振片的接线和功率控制器，均未发现什么问题，还有什么问题会导致有功率没有速率呢？蒸发舟没有断，请大家指教一二，谢谢！

WENJINGREN · 发表于 2012-7-12 09:03:18

确认功率大小是否在设定值范围，功率很大时速率为0还是比较小，是钽舟吗

tfc · 发表于 2012-7-12 09:47:12

先看看舟是否正常发热，片子上有镀到膜没有，区分是蒸发源问题还是晶振问题，蒸发源主要有接触不良。

E501559 · 发表于 2012-7-13 17:03:25

WENJINGREN 发表于 2012-7-12 09:03
确认功率大小是否在设定值范围，功率很大时速率为0还是比较小，是钽舟吗

功率很大的时候，速率也是0，是钽舟

WENJINGREN · 发表于 2012-7-16 10:54:33

电极蒸发，检查一下电器件是否有问题，电阻大了，电流太小，达不到蒸发的要求（药品没熔）

guhua530 · 发表于 2012-7-16 11:57:12

黑马123 · 发表于 2012-7-22 20:17:36

首先怀疑测量问题，观察基片上有没有镀上膜，如果有证明是探头不能测量。你们用的是双探头吗？如果是看看探头挡板是不是没有换过来，有可能是挡板挡住了测量。钽舟能烧红嘛？如果是镀铝有可能是铝丝送料的时候加多了，那样舟被铝包围了，等下次镀膜的时候就会出现短路了，看起来是有电流，但是舟一直烧不到铝的蒸发温度，所以就不蒸发了。可以加我Q184048526，我做设备11年遇到的问题都是比较经典的，我们可以共同学习。

E501559 · 发表于 2012-7-23 08:22:48

黑马123 发表于 2012-7-22 20:17
首先怀疑测量问题，观察基片上有没有镀上膜，如果有证明是探头不能测量。你们用的是双探头吗？如果是看看探 ...

谢谢！问题已解决，是晶振测量的问题！

JZNT · 发表于 2012-8-11 19:12:18

路过学习

LOUYC · 发表于 2013-7-23 15:08:08

路过学习

yuliang518 · 发表于 2013-7-24 08:57:12

[讨论] 镀膜是有功率没有速率，为何？

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