楼主: 强子

[讨论] 急!急!急!有关发雾

 火... [复制链接]
发表于 2012-4-20 20:16:40 | 显示全部楼层
你的基片镀前自己亲自确认过没点吗?
 楼主| 发表于 2012-4-21 09:32:00 | 显示全部楼层
ranguangpu 发表于 2012-4-20 20:16
你的基片镀前自己亲自确认过没点吗?

强光灯下看不到任何东西,在别家镀后也未出现红点
 楼主| 发表于 2012-4-21 09:40:22 | 显示全部楼层
ranguangpu 发表于 2012-4-20 20:13
以前有这情况吗?还是这段时间出现的

从2月就偶有出现,3月起开始比较多
发表于 2012-4-21 15:39:29 | 显示全部楼层
是氧气瓶的吧,氧气怎么样的参数呢?

发表于 2012-4-21 16:11:59 | 显示全部楼层
你放几片洁净的白片进行抽真空到开高阀后再放气进去(把放气阀用干净无尘布包住),迅速看外观变化,先确定好是镀前产生的,还是蒸镀的时候产生的
发表于 2012-4-21 17:01:31 | 显示全部楼层
一般来说,没有清洗干净。
 楼主| 发表于 2012-4-21 17:09:27 | 显示全部楼层
nkclone 发表于 2012-4-21 15:39
是氧气瓶的吧,氧气怎么样的参数呢?

氧气是流量控制的,真空度在1.2-1.5之间(各机台不一样)
 楼主| 发表于 2012-4-21 17:11:19 | 显示全部楼层
ranguangpu 发表于 2012-4-21 16:11
你放几片洁净的白片进行抽真空到开高阀后再放气进去(把放气阀用干净无尘布包住),迅速看外观变化,先确定 ...

放气阀是用无尘布包的,管道也用气枪包过
 楼主| 发表于 2012-4-21 17:12:25 | 显示全部楼层
z1206l 发表于 2012-4-21 17:01
一般来说,没有清洗干净。

手擦片也一样的
发表于 2012-4-21 19:05:54 | 显示全部楼层
膜料保管的条件怎么样呢?
 楼主| 发表于 2012-4-21 23:11:41 | 显示全部楼层
nkclone 发表于 2012-4-21 19:05
膜料保管的条件怎么样呢?

加料后都是把材料密封的。
发表于 2012-4-22 10:36:41 | 显示全部楼层
俺是新手 提示一下 氧气是否是高纯氧呢???
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