SIO2挖坑，表面发白或发朦不透明的问题

huang12949 · 发表于 2012-3-31 03:05:45

求教：SIO2挖坑严重，1/4波长光学厚度的SIO2挖坑呈锥状且深，ZNS,SIO2膜堆，TIO2或ZRO2收尾。

坛子里很多高人说到SIO2电子枪蒸发用低束流，不开扫描蒸发，那么请问我这问题如何解决？谢谢各位了，急呀，头发都白了，人也憔悴了。

HGcoating · 发表于 2012-3-31 09:46:23

用环形坩锅加扫描

guhua530 · 发表于 2012-3-31 11:10:57

用环形坩锅加扫描

E501559 · 发表于 2012-3-31 16:44:34

shuangzixing · 发表于 2012-4-13 08:08:03

用环形坩锅加扫描。坩埚转速要慢。增加横向扫描。控制到增发速率

shuangzixing · 发表于 2012-4-13 08:09:43

不好意思是控制好蒸发速率。

496316388 · 发表于 2012-4-13 15:33:55

tfc · 发表于 2012-4-13 16:37:39

你先说说你的枪是多少度的，国产还是进口，一般先要保证枪头无问题才好，镀SIO2其实可以有快速扫描和慢速扫描两种，要看你机器的扫描方式，我不建议不开扫描，一定要停扫描的话，只是说明枪很差。

niekai@ · 发表于 2012-4-17 15:01:40

改环形坩埚或者加大光斑或者先来一个预熔

laoxianccc · 发表于 2013-4-27 11:43:23

没人解决?

ghtzna · 发表于 2013-4-28 10:10:28

呵呵这个需要改变，你目前的参数不适合哈

新手求教 · 发表于 2013-4-28 11:11:12

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