SIO蒸发源选用

缘睐汝痴 · 发表于 2012-3-28 15:07:51

SIO只能用阻蒸蒸发吗，为什么呢

lzk010 · 发表于 2012-3-29 00:13:47

您好，您对一氧化硅镀膜很专业吧。我想了解一氧化硅镀膜设备及操作，您能推荐一些的资料吗？谢谢！

E501559 · 发表于 2012-3-29 08:30:01

SIO 当然只能用电阻蒸发（蒸发舟）
1）因为在镀膜蒸发后，有残渣；
2）必须充氧气；

HGcoating · 发表于 2012-3-29 09:17:34

SIO充氧气会变成什么。。。。。注意此材料折射率变化很大

缘睐汝痴 · 发表于 2012-3-29 19:09:22

E501559 发表于 2012-3-29 08:30
SIO 当然只能用电阻蒸发（蒸发舟）
1）因为在镀膜蒸发后，有残渣；
2）必须充氧气；

SIO是升华的哇，所以不用预熔，当然更不会融到一起了，是不是也可以用电子枪呢，只能说用电子枪只是比较浪费膜料呢？？？另外就是你说SIO必须充氧，为什么呢，充氧后SIO不会生成SIO2吗，怎么的呢

缘睐汝痴 · 发表于 2012-3-29 19:18:40

lzk010 发表于 2012-3-29 00:13
您好，您对一氧化硅镀膜很专业吧。我想了解一氧化硅镀膜设备及操作，您能推荐一些的资料吗？谢谢！

我也不是很了解哈，只知道SIO用阻蒸镀，就是南光机就行，资料我也没有，这方面的资料应该没吧，你找找薄膜材料方面的资料看看

guhua530 · 发表于 2012-3-29 20:33:04

充氧

。。。。。。

qjy · 发表于 2012-3-30 08:48:32

guhua530 发表于 2012-3-29 20:33
充氧。。。。。。

谁说镀SiO必须充氧？胡说八道。在可见区代替SiO2使用时要充氧没错，否则镀出来的是SiO，膜层发黑有吸收。可是如果你要是用在中红外和Ge搭配做滤光片或者啥东西，你还要充氧吗？是不是脑子该充充氧了

john03062003 · 发表于 2012-3-30 08:49:51

E501559 发表于 2012-3-29 08:30
SIO 当然只能用电阻蒸发（蒸发舟）
1）因为在镀膜蒸发后，有残渣；
2）必须充氧气；

？？你能告诉我为什么只能用电阻蒸发？？同时充氧气？？我要知道其中的原因，这是个比较严肃的问题，不能信口开河，随意发挥的，否则有误导他人的嫌疑！！！

qjy · 发表于 2012-3-30 09:36:12

SiO必须阻蒸蒸发也是胡说，电子枪蒸发也是完全可以的

guhua530 · 发表于 2012-3-30 11:23:57

本帖最后由 guhua530 于 2012-3-30 11:25 编辑

qjy 发表于 2012-3-30 08:48
谁说镀SiO必须充氧？胡说八道。在可见区代替SiO2使用时要充氧没错，否则镀出来的是SiO，膜层发黑有吸收。 ...

看清楚了再说！看图能力差啊

shuangzixing · 发表于 2012-3-30 19:23:52

昨天我们就镀了一氧化硅。就是用电子枪镀的。带扫描不冲氧速率不能太快。蒸发功率和氟化镁差不多大。你可以先试试

[讨论] SIO蒸发源选用