咨询kla-tencor椭偏仪？...

optixlt · 发表于 2012-2-6 10:25:59

最近单位想买kla-tencor的椭偏仪？...想咨询一下和J.A.Woollam，Sentech，法国SOPRALAB，HORIBA 相比有什么优缺点？谢谢...

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wuxsh00110011 · 发表于 2012-2-7 14:50:04

其实几款都差不多，比比价格差不多就OK了。椭偏仪最主要的不是品牌而是应用和分析。
主要的是看你们的材料特性是不是可以量测镀膜的膜层特性及测量要求的精度详细可以联系我吴飞 andy@raditech.com.cn

scorpions2004 · 发表于 2012-5-30 21:18:02

都一样

貢丸 · 发表于 2012-12-29 08:21:23

我這兩台都有用過~差異比較大的是在軟體上

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