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[讨论] 抽真空的过程中往回反真空是怎么回事儿啊 请各路高手帮分析下原因

 火... [复制链接]
发表于 2012-1-31 17:55:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
抽真空的过程中往回反真空过后还能抽回去,每次都要反几回,现在抽的慢死了!!!!
发表于 2012-1-31 20:30:09 | 显示全部楼层
估计机械泵管道漏气
发表于 2012-2-1 09:35:11 | 显示全部楼层
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发表于 2012-2-1 10:24:50 | 显示全部楼层
有漏气,
发表于 2012-2-1 12:45:52 | 显示全部楼层
可能的原因:
1 管道漏气,
2 阀门漏气,
3 控制阀门的电磁阀有问题,
4 真空泵有问题,
5 镀膜程序设置不当(指真空度)
发表于 2012-2-1 13:02:35 | 显示全部楼层
肯定有漏气,我们前段时间也出现过这样的问题。建议好好排查漏气点
发表于 2012-2-1 14:50:40 | 显示全部楼层
漏气是肯定的,我认为在电磁阀漏的可能大
发表于 2012-2-1 15:22:53 | 显示全部楼层
我们的机器曾经扩散泵的油视窗那漏气也导致了抽速缓慢……
发表于 2012-2-1 18:30:32 | 显示全部楼层
关注一下水管是否有微漏!
发表于 2012-2-1 21:10:27 | 显示全部楼层
就是漏气
发表于 2012-2-1 22:28:20 | 显示全部楼层
 楼主| 发表于 2012-2-1 22:55:44 | 显示全部楼层
a99533126 发表于 2012-1-31 20:30
估计机械泵管道漏气

怎么查漏气啊
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