关于何为直接光控和间接光控

xiaojiang007 · 发表于 2011-12-16 19:25:29

如题求解答谢了

xiao2011 · 发表于 2011-12-16 22:23:36

学习，没用过光控

john03062003 · 发表于 2011-12-19 08:39:58

直接监控是直接测试被镀件表面的光信号变化（leybold设备采用），而间接监控是监控同炉次的一个监控片表面镀膜过程的光信号变化（目前大部分机器采用）

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-19 11:03:05

谢谢解释。我现在用的就是间接监控。按我测量的结果，监控片上的参数，不能直接作为设计依据。那么，tooling值我能直接用样片和设计值进行计算吗？
设计值与监控片的膜有差异，而监控片的膜与样片的又有差异。应该如何计算呢？

缘睐汝痴 · 发表于 2011-12-19 21:25:11

Jimmy_tang 发表于 2011-12-19 11:03
谢谢解释。我现在用的就是间接监控。按我测量的结果，监控片上的参数，不能直接作为设计依据。那么，toolin ...

恩，我也有这样的疑问。不知你现在解决没有，我还是搞不明白

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-20 09:17:38

缘睐汝痴发表于 2011-12-19 21:25
恩，我也有这样的疑问。不知你现在解决没有，我还是搞不明白

自然是没有的。我现在是在磕磕绊绊地摸石头过河啊。

xiaojiang007 · 发表于 2011-12-20 20:21:42

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:17
自然是没有的。我现在是在磕磕绊绊地摸石头过河啊。

大家多交流啊朋友的机器是那里的啊

272813953 · 发表于 2011-12-20 22:35:25

我也来学习学习

Jimmy_tang · 发表于 2011-12-21 13:28:07

国产机子啦，公司在昆山。

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