光控的tooling

xiaojiang007

如题   光控的  tooling 是什么  ?望大家给予解答  谢了   

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学习中

buaa_dsw

光控tooling概念存在于间接光控型的镀膜机（直接光控就是1了），定义为：监控片上薄膜的光学厚度/实际样片上薄膜的光学厚度

Jimmy_tang

我测量过监控片上薄膜的光学厚度，监控片上薄膜的光学厚度与设计值也并不相同。不过3楼说的我得赶紧去测试一下。我还没有同时测量过两种情况，原来准备过几周再测量的。

逐梦者

还是不太懂

xiaojiang007

buaa_dsw 发表于 2011-12-15 23:18
光控tooling概念存在于间接光控型的镀膜机（直接光控就是1了），定义为：监控片上薄膜的光学厚度/实际样片上 ...

谢谢朋友的回答      有点不理解何为直接和间接光控呢 ?以及  监控片上的光学厚度怎么求    实际样片的又指的是什么   是指的我镀完的镜片吗 ?

缘睐汝痴

Jimmy_tang 发表于 2011-12-16 15:59
我测量过监控片上薄膜的光学厚度，监控片上薄膜的光学厚度与设计值也并不相同。不过3楼说的我得赶紧去测试一 ...

怎么测量出光学厚度的呢，是测光谱曲线然后计算出来的还是就是直接用仪器测量出来的呢

Jimmy_tang

缘睐汝痴 发表于 2011-12-19 21:35
怎么测量出光学厚度的呢，是测光谱曲线然后计算出来的还是就是直接用仪器测量出来的呢

我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

filmokay

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:19
我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

你的做法是正确的啊。直接测试厚度的仪器如台阶仪得到的是物理厚度，光学厚度都是通过光谱进行计算的啊。

Jimmy_tang

filmokay 发表于 2011-12-20 10:21
你的做法是正确的啊。直接测试厚度的仪器如台阶仪得到的是物理厚度，光学厚度都是通过光谱进行计算的啊。

谢谢你的确认。
不过，为什么我计算出折射率后，再用TFC依照此折射率做出曲线，曲线与实际曲线却有tooling偏差呢。
理解上有点扭不过弯来，突然有点不敢肯定。
按照曲线算出数值，再用数值模拟出曲线，此曲线与彼曲线却有个偏差。。。这是tooling值偏差吗？还是我算岔了？

缘睐汝痴

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 11:19
谢谢你的确认。
不过，为什么我计算出折射率后，再用TFC依照此折射率做出曲线，曲线与实际曲线 ...

这个偏差我认为是正常的，这样的偏差也更好解决。实际和模拟曲线晶控监控总是会有误差的，即使你的TOOLING找的再准，也还是会有小小的偏差，只要掌握这种偏差的值就可以基本完全解决问题了

Jimmy_tang

缘睐汝痴 发表于 2011-12-20 14:27
这个偏差我认为是正常的，这样的偏差也更好解决。实际和模拟曲线晶控监控总是会有误差的，即使你的TOOLIN ...

我这个偏差通常是0.8啊。上周工转盘坏了，修完后，发现曲线异常，算了一下后，吓了一跳，膜的折射率高了很多，不过，这周再次测量，发现膜的折射率又低了不少，比原来的还低了。。。 瀑布汗啊。